電子氣體，多采用集中式供應，可分為大宗氣體，包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣、二氧化碳等；電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、八氟環丁烷、甲烷等氣體。

電子氣體是超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長。

一、什么是電子氣體？

1、電子氣體的含義：氣體工業名詞，半導體工業用的氣體統稱電子氣體。

2、電子氣體的分類：按其門類可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（大規模集成電路）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。

二、電子氣體應用列舉

1、電子氣體系統技術應用

在目前工藝技術較為先進的超大規模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據氣體性質和供應包裝的不同。

2、氨氣在電子行業的應用

氨氣是由氮氫組成的化合物。它是一種無色水溶性氣體，具有特殊的刺激性氣味。大部分的氨氣用于生產肥料，也是幾乎所有含氮化合物的前身。高純度特氣在LED生產中的作用至關重要。超純氨是用于保證生產最高質量的LED元器件。這是因為氧氣含有水汽分子，即使微量存在，也能極大地減少光能輸出。

3、硅烷的應用

硅烷，硅與氫的化合物，易自燃、爆炸，是一種高危險性氣體。目前廣泛應用于微電子、光電子工業， 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層等。此外，它還用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等高科技應用。

4、笑氣在電子行業的應用

笑氣，即一氧化二氮，無色有甜味氣體，是一種氧化劑，在電子行業和食品飲料中被廣泛應用，甚至在一些電子產品的開發中起著至關重要的作用。要想實現電視、手機以及電腦顯示屏更高的分辨率和幀速率，笑氣在下一代超高清3DTFT-LCD（薄膜晶體管液晶）顯示屏和OLED（發光二極管）顯示屏的低成本開發中至關重要。

綜上所述，以上便是對電子氣體相關事項的介紹，大家是否更加了解電子氣體了呢？電子氣體的應用數不勝數，在許多領域中都起著至關重要的作用，因此對于電子氣體的要求也要不斷提高，并作為長期目標。